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冷熱事業

半導体製造分野 (システム導入事例)

用途:クリーンルーム
システム区分:カスタムIC製造室のクリーンルーム

概要

クリーンルームの空調をする場合に、加湿水の塩素や塵埃が障害になるために純水器を準備しています。

使用機器

1.空冷式ヒートポンプパッケージエアコン 15kW×8台
2.純水器

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